多層陶瓷電容器(Multi-layer Ceramic Capacitor, MLCC)端電極銀漿(Silver Paste)厚度及均勻性,是管控器件核心電氣性能(Electrical Performance)的關(guān)鍵工藝參數(shù)。依據(jù)電子銀漿行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11686-2018,銀漿層厚度偏差過大,會直接引發(fā)MLCC接觸電阻異常、耐壓衰減、焊接脫落等質(zhì)量缺陷,嚴(yán)重影響產(chǎn)品可靠性。傳統(tǒng)接觸式測厚易造成微型MLCC坯體破損、銀漿層形變;常規(guī)激光檢測、二維自動光學(xué)檢測(Automatic Optical Inspection, AOI)存在視野局限、需圖像拼接、無三維高程數(shù)據(jù)的問題,無法滿足精密量產(chǎn)質(zhì)控要求。



光學(xué)3D輪廓儀(Optical 3D Profilometer)基于白光干涉(White Light Interferometry, WLI)原理,嚴(yán)格遵循ISO 25178三維表面形貌檢測國際標(biāo)準(zhǔn),采用非接觸式無損檢測方式,適配MLCC超薄銀漿涂層精密檢測場景。設(shè)備具備納米級垂直解析能力,可精準(zhǔn)捕捉銀漿層微小厚度偏差,同時同步采集電極三維輪廓、表面粗糙度(Roughness Average, Ra)等核心參數(shù),實現(xiàn)單工位多指標(biāo)一體化檢測,規(guī)避傳統(tǒng)設(shè)備檢測維度單一的短板。



相較于傳統(tǒng)檢測設(shè)備,該設(shè)備支持大視野單次全域成像,無需圖像拼接,徹底消除拼接累積誤差,兼顧高精度與量產(chǎn)檢測效率,適配MLCC制程抽檢、成品全檢全場景。通過精準(zhǔn)管控端電極銀漿厚度一致性,可穩(wěn)定MLCC導(dǎo)通性能、提升焊接可靠性,有效降低制程不良率,是當(dāng)前MLCC精密制造中端電極工藝質(zhì)控的主流高效解決方案。



新啟航半導(dǎo)體|專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障,支持自動化定制;高端系列對標(biāo)國際一線品牌,大視野設(shè)計,輕松應(yīng)對高低反射、復(fù)雜材料測量場景。
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